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評價報告名稱

南大光電半導體材料有限公司年產68噸半導體先進制程用硅前驅體材料產業化項目（一期）安全設施竣工驗收安全評價報告 

(評價報告編號：皖WH20250100126)

行業類別

化學原料和化學品制造業

評價類型

安全設施竣工驗收安全評價報告

項目地址

安徽省滁州市全椒縣十字鎮十譚產業園新城大道117號

項目簡介

南大光電半導體材料有限公司年產68噸半導體先進制程用硅前驅體材料產業化項目（一期）（以下簡稱“本項目”）于南大半導體現有廠區范圍內建設，目前已建成試生產，建設內容主要有：（1）生產裝置：①依托A1車間新建年產1噸辛烷提純生產線；②依托A2車間新建年產6噸雙（二乙基胺基）硅烷（BDEAS）生產線、年產1.5噸雙（叔丁基胺基）硅烷（BTBAS）生產線、年產30噸二異丙胺硅烷（DIPAS）生產線，其中BDEAS、BTBAS共用一套生產裝置（更換生產品種時進行清洗、置換）；③依托鋼瓶處理車間新建年產1噸二氯二氧化鉬升華提純生產線；④依托A5車間新建產品包裝間。（2）儲存設施：①依托甲類倉庫2、甲類倉庫4、丙類倉庫存儲本項目涉及的原輔材料和產品；②將罐區原硫酸二甲酯儲罐移位至罐區東側預留位置，在原硫酸二甲酯儲罐位置上新增兩輛硅烷魚雷車，儲存本項目的原料硅烷。（3）公輔工程：①在A2車間西側新增一套TO焚燒爐廢氣處理設施。②在分析檢測中心預留房間內新增一間分析室。③在鋼瓶處理車間新增鋼瓶安全處理間、鋼瓶測試間及后續去標簽、烘干等房間。④其他公輔工程如供水、供電、供氣、消防、污水處理等均依托原有設施。

技術負責人

孫紅敏

過程控制負責人

劉根

姓名

職務

職業資格證編號

項目負責人

施騰龍

組長

1800000000200411

項目組成員

（報告編制人）

田莉娟

組長

1600000000200506

余志德

組員

1500000000301807

趙明

組員

1700000000300688

祁冬東

組員

1600000000300547

徐穎

組員

1800000000300366

報告審核人

李祥兵

現場開展評價人員

施騰龍、祁冬東

專家評審情況

通過評審

評價結論

南大光電半導體材料有限公司年產68噸半導體先進制程用硅前驅體材料產業化項目（一期）已具備安全設施竣工驗收條件，符合《危險化學品生產企業安全生產許可證實施辦法》（安監總局令41號，2017年修訂）的發證條件，符合安全生產條件。

現場開展照片